아연붕규산염 유리가 첨가된 ZnAl_(2)O_(4)의 저온 소결 및 마이크로파 유전 특성
Low Temperature Sintering and Microwave Dielectric Properties of ZnAl_(2)O_(4) with Zinc Borosilicate Glass
- 주제(키워드) ZnAl_(2)O_(4) , 아연붕규산염 유리 , Ceramic/glass , LTCC , 저유전율 , 고품질계수 , Zinc borosilicate glass , Low dielectric constant , High quality factor
- 발행기관 江陵大學校 大學院
- 지도교수 尹尙玉
- 발행년도 2008
- 학위수여년월 2008. 8
- 학위명 석사
- 학과 및 전공 材料工學科
- 원문페이지 73 p.
- 본문언어 한국어
초록/요약
본 연구는 ZnAl_2O_4/ZBS glass 복합체의 마이크로파 유전 특성을 이론적으로고찰하고, 저유전율과 고품질계수를 갖는 LTCC 기판 재료를 개발하고자 한다.ZBS glass를 40~70 vol %로 첨가된 ZnAl_2O_4/ZBS glass 복합체를 700~900℃에서 소결한 결과, ZBS glass가60 vol % 첨가되었을 때 900℃ 이하에서 소결이가능하였다. XRD 분석 결과 ZBS glass 첨가 함량에 관계없이 ZnAl_2O_4의 주상과ZnB2O4 및 Zn2SiO4의 2차상이 생성되었다. XRD 분석 결과 ZBS glass 첨가 함량에 관계없이 ZnAl_2O_4의 주상과 ZnB_2O_4 및 Zn_2SiO_4의 2차상이 생성되었다.XRD 정량 분석 결과 2차상은 ZBS glass의 결정화에 의한 것을 확인할 수 있었다. 900℃에서 소결한 ZnAl_2O_4/ZBS glass 복합체의 유전상수는 Logarithmic 관계식에 거의 일치하였다. 60 vol % ZBS glass를 첨가한 ZnAl_2O_4/ZBS glass 복합체는, 900℃ 이하에서 저온 소결이 가능하며, 유전상수 6.6, 품질계수 13,000GHz, 공진주파수 온도계수 -30 ppm/℃의 마이크로파 유전 특성을 나타내어LTCC 기판 재료로 응용이 가능한 것으로 판단된다.
more목차
제 1 장 서 론 = 1
제 2 장 이론적 배경 = 3
제 2-1 절 LTCC 기판 = 3
제 2-2 절 ZnAl2O4 결정구조 및 물성 = 9
제 2-3 절 Ceramic/glass 복합체의 소결 특성 = 14
제 2-4 절 마이크로파 유전체의 유전 특성 = 23
제 2-5 절 유리의 조성에 따른 유전율 = 34
제 2-6 절 Ceramic/glass 복합체의 유전 특성 = 37
제 3 장 실험 방법 = 41
제 3-1 절 ZnAl2O4 및 ZBS glass 제조 = 41
제 3-2 절 ZnAl2O4/ZBS glass 복합체 제조 = 43
제 3-3 절 특성 측정 및 분석 = 45
제 4 장 결과 및 고찰 = 47
제 4-1 절 ZBS와 BZBS glass 조성에 따른 특성 = 47
제 4-2 절 ZnAl2O4/ZBS glass 복합체의 소결 특성 = 51
제 4-3 절 ZnAl2O4/ZBS glass 복합체의 유전 특성 = 62
제 5 장 결 론 = 72
