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Alumina-silicate/zinc borosilicate glass 복합체의 저온 소결 및 유전 특성

Low Temperature Sintering and Microwave Dielectric Properties of Alumina-Silicate/Zinc Borosilicate Glass Composite

초록/요약

본 연구는 LTCC 기판 ceramic/glass 복합체에서 Al_(2)O_(3)와 SiO_(2)의 mole 비에 따른 세라믹 충전제에 아연 붕규산염 유리를 50 vol% 첨가하여 저온 소결 및 유전 특성을 고찰하였다. Alumina-silicate/zinc borosilicate glass 복합체를 900℃에서 소결한 결과 상대밀도는 이론밀도의 약 90 %를 나타내었다. 또한, 세라믹 충전제와 아연 붕규산염 유리가 서로 반응에 의해서 Al_(2)O_(3) 함량이 많은 경우 ZnAl_(2)O_(4), SiO_(2) 함량이 많을 경우 ZnB_(2)O_(4)의 결정상이 주상으로 존재하는 것을 관찰할 수 있었다. 이에 따라 alumina-silicate/ZBS glass 복합체의 유전 특성이 변화되었으며, 아연 붕규산염 유리를 포함한 ceramic/glass 복합체에서 세라믹충전제의 종류에 따라 고품질계수 (Qxf value=40,000 GHz) 및 저유전율 (ε_(r)=4.5)을 갖는 LTCC 기판 재료를 제조할 수 있었다.

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목차

제1장 서 론 = 1
제2장 이론적 배경 = 3
제2-1절 세라믹 기판 = 3
제2-2절 LTCC 기판 = 7
제2-3절 Ceramic/glass composite의 소결 특성 = 13
제2-4절 마이크로파 유전체의 유전 특성 = 23
제2-5절 Glass/Ceramic 복합체의 유전 특성 = 36
제3장 실험 방법 = 39
제3-1절 Zinc borosilicate glass frit의 제조 = 39
제3-2절 Ceramic/galss 복합체 제조 = 40
제3-3절 특성 측정 및 분석 = 42
제4장 결과 및 고찰 = 45
제4-1절 Zinc borosilicate glass의 특성 = 45
제4-2절 Ceramic/galss composite의 소결특성 = 46
제4-3절 Ceramic/glass composite의 유전특성 = 55
제5장 결 론 = 60

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